Gall halogion bach ar fyrddau cylched electronig leihau effeithlonrwydd electronig ac achosi difrod i fyrddau cylched electronig. Gyda datblygiad technoleg, mae lled-ddargludyddion, dyfeisiau microelectroneg yn mynd yn llai ac yn llai, mae'r gronynnau y mae angen eu glanhau yn mynd yn llai ac yn llai, mae'r anhawster glanhau yn enfawr, mae gan olchi dŵr traddodiadol a glanhau ultrasonic eu hanfanteision eu hunain, mae glanhau laser yn dod â newydd. gobeithio a dod yn ddull glanhau gorau.
Mae ffilm polyimide yn ddeunydd pwysig mewn cydrannau electronig, mae'n ddeunydd dielectrig ar gyfer strwythur cysylltu mewnol ffilmiau aml-haen wedi'u hamgáu o gydrannau electronig cyflymder uchel, dwysedd uchel, ond mae'n aml wedi'i orchuddio â halogion gronynnol, gan gynnwys gronynnau titaniwm, gronynnau cromiwm , gronynnau twngsten, gronynnau nicel, ac ati Mae angen glanhau'r halogion hyn i sicrhau bod y ffilm polyimide yn gweithio'n iawn. Glanhau ffilm polyimide, gan ddefnyddio laser excimer, dewiswch y donfedd laser 235nm, pwls 20ns, dwysedd ynni laser o 80mj / cm2, gan ddefnyddio dull gweithredu robot awtomataidd, mae effeithlonrwydd glanhau yn uchel iawn, ar ôl glanhau canfuwyd effaith glanhau ardderchog, gan ddefnyddio'r sbectromedr i ganfod mae'r gymhareb tynnu halogion o fwy na 95 y cant, wedi cyrraedd y safon ofynnol, mae effeithlonrwydd glanhau yn uchel.
Mae yna lawer o gymwysiadau eraill o laser mewn glanhau cydrannau electronig, megis glanhau byrddau cylched electronig, glanhau wafferi silicon, glanhau cylched integredig, glanhau cylchedau meddal, glanhau dyfeisiau optoelectroneg, ac ati Mae'r deunyddiau hyn gyda datblygiad gwyddoniaeth a thechnoleg , integreiddio cynyddol, pinnau mwy a mwy, mae tyllau hefyd yn mynd yn llai, mae dulliau glanhau traddodiadol yn anodd eu gweithio, glanhau laser oherwydd cywirdeb uchel, gweithrediadau hawdd i awtomeiddio, paramedrau addasadwy, effeithlonrwydd glanhau a manteision eraill, tynnu llwch, saim yn effeithiol , ocsid a gronynnau eraill ar wyneb cydrannau electronig, yn gwella gwydnwch cydrannau electronig yn effeithiol. Mae glanhau laser yn darparu technoleg effeithiol a dibynadwy ar gyfer y diwydiant microelectroneg lle mae meintiau dyfeisiau'n fach ac nid yw gronynnau mân yn hawdd eu glanhau. Ar yr un pryd nid yw glanhau laser yn bodoli ar gyfer gwisgo deunydd swbstrad a chorydiad, yn unol â gofynion amgylcheddol, yn gallu gweithredu mewn man cul, heb ei gyfateb gan unrhyw broses lanhau arall.
Mae glanhau laser yn bodloni gofynion diogelu'r amgylchedd, yn unol ag anghenion datblygu cynaliadwy, gan fod cost glanhau laser yn mynd yn is ac yn is, mae mwy a mwy o fentrau'n derbyn glanhau cydrannau electronig â laser.
Cyn 2016, mae cost glanhau laser cydrannau electronig 20 gwaith yn fwy na chost glanhau dŵr a chemegol traddodiadol, gyda datblygiad technoleg glanhau laser ac offer glanhau laser yn y blynyddoedd diwethaf, mae'r gostyngiad pris, costau glanhau bellach yn agos at y traddodiadol. cost ohono.
