Yn ddiweddar, yn Fforwm IC SEMICON Taiwan 2026, darparodd y cawr lithograffeg fyd-eang ASML ddatgeliadau manwl ar y data craidd diweddaraf a chynnydd technolegol ei beiriannau lithograffeg Uchel-NA EUV (Uwchfioled Uchel Eithafol) wrth iddynt symud ymlaen tuag at weithgynhyrchu cyfaint uchel (HVM).
O ran graddfa cynhyrchu a chyflenwi offer, cyhoeddodd ASML fod pedwar cwsmer ledled y byd wedi cwblhau gosodiadau, gyda chyfanswm o 10 system High-NA EUV bellach yn gwbl weithredol. Mae tair system ychwanegol yn y cyfnod cludo a gosod ar hyn o bryd. Hyd yn hyn, mae'r peiriannau hyn wedi datgelu dros 1.35 miliwn o wafferi gyda'i gilydd, sy'n nodi trawsnewidiad y dechnoleg o ddilysu arbrofol i gymhwysiad diwydiannol ar raddfa lawn. Yn nodedig, mae Intel wedi cymryd yr awenau trwy ddefnyddio'r dechnoleg hon i gynhyrchu màs-proseswyr Core Ultra Series 3 penodol (o'r enw Panther Lake) ar ei nod proses Intel 18A, gan ddod y cwmni cyntaf yn fyd-eang i gyflawni llwythi uchel o sglodion rhesymeg gan ddefnyddio Uchel-NA EUV.
O ran perfformiad a sefydlogrwydd offer, mae model cynhyrchu màs y genhedlaeth gyntaf, yr EXE:5200B, wedi cyflawni trwygyrch o 135 o wafferi yr awr (WPH) yn ystod profion derbyn, gan fodloni safonau HVM. Yn y cyfamser, mae'r gyfradd argaeledd fflyd fyd-eang wedi cynyddu i 84%. Mae ASML yn rhagweld y bydd y gyfradd hon yn cyrraedd 90% erbyn diwedd 2026, gyda tharged hirdymor o 93%. Trwy fanteisio ar brofiad cynnal a chadw o'i blatfform NXE presennol, mae ASML wedi sicrhau bod perfformiad troshaen a ffocws y peiriannau'n bodloni gofynion cynhyrchu màs llym.
O ran manteision technolegol a mapiau ffyrdd yn y dyfodol, o gymharu â'r systemau 0.33 NA EUV blaenorol, mae'r 0.55 NA Uchel-NA EUV yn cynnig datrysiad gwell. Mae'n galluogi patrwm sengl i ddisodli patrwm amlasiantaethol cymhleth, gan leihau'n uniongyrchol gyfraddau diffygion, amseroedd cylchred cynhyrchu, a chostau cyffredinol nodau uwch. At hynny, mae'r dechnoleg hon yn agor mannau dylunio newydd ar gyfer cynlluniau sglodion 2D, gan leihau cyfanswm yr haenau rhyng-gysylltiad metel o bosibl. Wrth edrych ymlaen, mae ASML wedi sefydlu map ffordd technoleg sefydlog dros ddegawd. Trwy gynyddu pŵer ffynhonnell golau EUV (o 600W i 1000W) a gwneud y gorau o brosesau mecanyddol eraill, nod y cwmni yw hybu trwygyrch offer i 180 WPH erbyn diwedd y degawd hwn, gan barhau i ddarparu cefnogaeth graidd ar gyfer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion o'r nod 2nm i'r oes Angstrom.
